|
Tranzistor s řídící elektrodou z hliníku (Al)
Na obr. 1 vidíme v principiálních krocích postup výroby tranzistoru MOS s řídící elektrodou
z hliníku a polykrystalického křemíku. Skutečný postup výroby bývá složitější. Struktury s Al hradlem jsou již neperspektivní. Rozhodující množství vyráběných obvodů používá hradlo z polykrystalického křemíku (poly-Si, SiGMOS).
Postup výroby tranzistoru MOS s řídící elektrodou z Al
|
a) základní destička z Si typu P, nanesení vrstvy SiO2 a vyleptání přes masku |
|
b) pomocí difůze do povrchu destičky se vytvoří N |
|
c) termická oxidace a nanesení vrstvy SiO2 |
|
d) vyleptání přes masku, napaření Al kontaktů a řídící elektrody |
|
|
 | ...kovové kontakty |
 | ...SiO2, izolační vrstva |
 | ...polodovič typu P |
 | ...polovodič typu N |
|
Obr. 1 - Tranzistor s řídící elektrodou z hliníku
|